一體式真空機(jī)組——集成的真空解決方案
2025-03-21 來自: 廈門太星機(jī)電有限公司 瀏覽次數(shù):133
一體式真空機(jī)組集成了主泵和前級泵，適用于高真空需求的工業(yè)應(yīng)用，如半導(dǎo)體、光伏、化工等領(lǐng)域。了解其技術(shù)參數(shù)、產(chǎn)品特點(diǎn)及常見問題解答，選擇的真空解決方案。
本文詳細(xì)介紹一體式真空機(jī)組的技術(shù)參數(shù)、產(chǎn)品特點(diǎn)、應(yīng)用領(lǐng)域及常見問題解答，特別聚焦于其集成設(shè)計(jì)和廣泛適用性，為高真空需求提供解決方案。
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一體式真空機(jī)組產(chǎn)品特點(diǎn)
集成設(shè)計(jì)：主泵與前級泵一體化設(shè)計(jì)，減少安裝空間，提高系統(tǒng)效率。
高真空性能：極限全壓力低至0.5Pa，滿足高真空需求。
節(jié)能環(huán)保：電機(jī)功率優(yōu)化設(shè)計(jì)，降低能耗，符合節(jié)能環(huán)保要求。
易于維護(hù)：模塊化設(shè)計(jì)，便于維護(hù)和更換部件，減少停機(jī)時(shí)間。
廣泛適用性：適用于半導(dǎo)體、光伏、化工、醫(yī)藥等高真空領(lǐng)域。
一體式真空機(jī)組技術(shù)參數(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造：用于高真空環(huán)境下的晶圓加工和薄膜沉積。
光伏產(chǎn)業(yè)：在太陽能電池板制造過程中提供穩(wěn)定的真空條件。
化工行業(yè)：用于高真空蒸餾、干燥和反應(yīng)工藝。
醫(yī)藥行業(yè)：在藥品凍干和包裝過程中提供高真空環(huán)境。
科研領(lǐng)域：用于實(shí)驗(yàn)室高真空實(shí)驗(yàn)和設(shè)備測試。
應(yīng)用案例
應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體制造
使用設(shè)備：JZJLGB1200-5T一體式真空機(jī)組
工藝流程：在晶圓薄膜沉積過程中，JZJLGB1200-5T提供穩(wěn)定的高真空環(huán)境，確保薄膜均勻性和產(chǎn)品質(zhì)量。
設(shè)備安裝
詳細(xì)說明如何正確安裝一體式真空機(jī)組，包括安裝位置選擇、接口連接注意事項(xiàng)以及調(diào)試步驟，確保設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定。推薦由廠家提供安裝指導(dǎo)。
一體式真空機(jī)組常見問題解答
1、一體式真空機(jī)組的抽氣速率是多少？
答：抽氣速率根據(jù)型號(hào)不同，分別為300 L/s、600 L/s和1200 L/s。
2、一體式真空機(jī)組的極限真空度是多少？
答：極限全壓力為0.5Pa，適用于高真空需求。
3、一體式真空機(jī)組是否適用于高腐蝕性環(huán)境？
答：需根據(jù)具體型號(hào)和材料選擇，部分型號(hào)經(jīng)過特殊處理可適應(yīng)高腐蝕性環(huán)境。
4、一體式真空機(jī)組的噪音水平如何？
答：采用靜音設(shè)計(jì)，噪音水平低，適合對噪音敏感的環(huán)境。
5、一體式真空機(jī)組的維護(hù)是否方便？
答：模塊化設(shè)計(jì)，便于維護(hù)和更換部件，減少停機(jī)時(shí)間。
6、一體式真空機(jī)組是否節(jié)能？
答：電機(jī)功率優(yōu)化設(shè)計(jì)，能耗低，符合節(jié)能環(huán)保要求。
7、一體式真空機(jī)組的冷卻水需求是多少？
答：冷卻水壓力為0.2~0.35MPa，流量為10~15L/min，溫度為≤40℃。
8、一體式真空機(jī)組的氣體系統(tǒng)參數(shù)是多少？
答：氣體系統(tǒng)壓力為0.05~0.06MPa，流量為20~40L/min。
9、一體式真空機(jī)組是否適合半導(dǎo)體制造？
答：是的，適用于半導(dǎo)體制造中的高真空工藝。
10、如何評估一體式真空機(jī)組的總擁有成本？
答：綜合考慮設(shè)備價(jià)格、維護(hù)成本、能耗和使用壽命，推薦選擇可靠廠家提供的產(chǎn)品。
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